ЗхенАн, које су основне методе које се обично користе за испитивање зрна циљаног материјала?

ЗхенАн, које су основне методе које се обично користе за испитивање зрна циљног материјала?

Циљни материјали су обично поликристални, са величином зрна у распону од микрона до милиметара. Што су зрна ситнија, то је већа површина границе зрна и већи је утицај на перформансе. За исти циљни материјал, мете са финим зрнима имају бржу стопу прскања него мете са крупним зрнима. Мете са мањим варијацијама величине зрна (уједначена дистрибуција) производе уједначеније расподеле дебљине у распршеним филмовима. Истраживања су открила да ако се величина зрна титанијумске мете контролише испод 100 μм, а варијација у величини зрна се држи унутар 20%, квалитет резултујућег филма распршеног може да се побољша. Значајно побољшање.

Три основне методе за испитивање циљне величине зрна
1. Метода поређења: Метода поређења не захтева бројање зрна или пресеке. Када се упоређује са стандардном серијом рејтинг графикона, процена величине зрна применом методе поређења генерално показује одређени степен одступања (±0,5 нивоа). Репродуцибилност и поновљивост процењених вредности су типично ±1 ниво.

2. Метода површине: Метода површине броји број зрна унутар познате површине и користи број зрна по јединици површине за одређивање степена величине зрна. Тачност ове методе је функција израчунате величине зрна, а правилним бројањем може се постићи тачност од ±0,25 нивоа. Резултати методе површине су непристрасни, са репродуктивношћу мањом од ±0,5 нивоа. Кључ за одређивање величине зрна методом површине лежи у бројању зрна која јасно разграничавају границе зрна.

3. Метод пресека: Број пресека се израчунава бројањем пресека где сегмент тест линије (или мрежа) познате дужине сече границе зрна. Оцена величине зрна се одређује коришћењем броја пресека по јединици дужине. Тачност методе пресретања је функција броја израчунатих пресретања или пресретања, а може се постићи ефикасном статистичком анализом. ±0,25 тачност нивоа. Резултати мерења методе пресретања су-без пристрасности, а поновљивост и репродуктивност су мање од ±0,5 нивоа. За исти ниво тачности, метода пресретања не захтева тачно обележавање тачака пресека или бројева пресека, тако да је бржа од методе области.